| مقایسه رفتار مکانیکی و انالیز پایداری ساختارهای میکروالکترو مکانیکی خازنی با ارایه ساختارهای کلاسیک و خارج از صفحه |
| کد مقاله : 1201-ITME |
| نویسندگان |
|
هادی عظیم لو * هیات علمی |
| چکیده مقاله |
| در تحقیق حاضر، مقایسه رفتار مکانیکی و انالیز پایداری ساختارهای میکروالکترو مکانیکی خازنی با ارایه ساختارهای کلاسیک و خارج از صفحه مورد بررسی قرار می گیرد. نیروی غیر خطی الکترو استاتیکی در حالت خارج از صفحه با روش عددی در نرم افزار کامسول با شبیه سازی سه بعدی نسبت به فاصله های هوایی مختلف بدست اورده می شود. در ادامه منحنی نیروی الکترواستاتیک و نیروی فنر در حالات مختلف نشان داده شده و تعداد نقاط برخورد که همان نقاط تعادلی سیستم می باشند رسم می‌گردد. همچنین نمودارهای خیز نسبت به ولتاژ برای حالات مختلف و نمودارهای فازی به ازای ولتاژ اعمالی مختلف رسم می‌گردد و ولتاژهای اسنپ ترو پولین و اسنپ ترو پول-اوت برای ساختارخارج از صفحه معرفی می‌گردد. لازم به ذکر است مابین این دو ولتاژ، سیستم در حالت بای استیبل قرار میگیرد که در ساختار کلاسیک امکان وقوع چنین پدیده ای ناممکن می باشد. با توجه به نتایج بدست امده، مشاهده می شود که فاصله بین دو الکترود و مقدار ولتاژ اعمالی، نقش به سزایی در تعداد و نوع نقاط تعادلی سیستم در حالت خارج از صفحه دارند. انچه در مقایسه دو ساختار مشهود است پدیده پولین در ساختار خارج از صفحه رخ نمی دهد و به ازای فاصله های هوایی خاص سیستم به ازای هر ولتاژ اعمالی همواره پایدار می باشد.علاوه بر این، رفتار دو شاخگی برخلاف ساختار کلاسیک در سیستم جدید اتفاق نخواهد افتاد. |
| کلیدواژه ها |
| پایداری، ساختار خارج از صفحه، ولتاژ اسنپترو، رفتار بای استیبل |
| وضعیت: پذیرفته شده |